蝕刻是一種利用化學強酸腐蝕、機械拋光或電化學電解對物體表面進行處理的技術。除了增強美感之外,它還增加了對象的附加值。從傳統的金屬加工到高科技半導體制造,都在蝕刻技術的應用范圍之內。下面小編要和大家分享關于
鈦蝕刻前的清洗工藝以及技術類型的內容,歡迎閱讀!
鈦蝕刻前的清洗工藝:
不銹鋼或其他
金屬蝕刻前的工序是清洗處理,主要作用是去除材料表面的污垢、灰塵、油漬等。清洗工藝是保證后續薄膜或絲印油墨對金屬表面有良好附著力的關鍵。因此,必須徹底清除金屬蝕刻表面的油污和氧化膜。脫脂應根據工件的油污情況而定。建議在絲印油墨前進行電脫脂,以保證脫脂效果。除氧化膜外,還應根據金屬種類和膜厚選擇最佳蝕刻液,以保證表面清潔。絲網印刷前必須干燥。如果有水分。
蝕刻技術的類型:
濕蝕刻:
濕法蝕刻是將晶圓浸入合適的化學溶液中,或將化學溶液噴射到晶圓上進行淬火,通過溶液與被蝕刻物體的化學反應去除薄膜表面的原子,從而達到蝕刻的目的. 進行濕法刻蝕時,溶液中的反應物首先通過停滯邊界層擴散,然后到達晶片表面,發生化學反應,產生各種產物。蝕刻化學反應的產物是液相或氣相產物,然后這些產物通過邊界層擴散并溶解到主溶液中。濕法蝕刻不僅會在垂直方向蝕刻,還會有水平蝕刻效果。
干蝕刻:
干蝕刻通常是等離子蝕刻或化學蝕刻的一種。由于蝕刻效果的不同,等離子體中離子的物理原子、活性自由基的化學反應以及器件(晶圓)的表面原子,或兩者的結合,包括以下內容:
物理蝕刻:濺射蝕刻、離子束蝕刻
化學蝕刻:等離子蝕刻
物理化學復合蝕刻:反應離子蝕刻(RIE)
干蝕刻是一種各向異性蝕刻,具有良好的方向性,但選擇性比濕蝕刻差。在等離子體蝕刻中,等離子體是一種部分離解的氣體,氣體分子被離解成電子、離子和其他具有高化學活性的物質。干蝕刻的優點是“ 各向異性蝕刻”。然而,(自由基)干蝕刻的選擇性低于濕蝕刻。這是因為干蝕刻的蝕刻機理是物理相互作用;因此,離子的沖擊不僅可以去除蝕刻膜,還可以去除光刻膠掩模。
感謝閱讀,以上就是對鈦蝕刻前的清洗工藝以及技術類型的介紹,部分內容來自網絡,僅供參考。如果您想了解更多有關鈦蝕刻的詳細事宜,歡迎致電詳詢,竭誠為您服務。